真空阀门广泛采用的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制，但大通径来说，可用的还有球阀、柱塞阀和蝶阀。作真空阀用的旋塞阀未得到推广，因为旋塞阀需要用油润滑，使油汽可能进入真空系统，而这是不允许的。真空阀门关闭件是用像胶密封圈或金属密封圈来密封的。波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜JI80、塑料和其他材料制成。小通径（口径在10毫米以下）的截止阀关闭件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞阀。
隔膜阀的流量特性接近快开特性，在60%行程前近似为线性,60%后的流量变化不大。气动形式的隔膜阀尚可附装反馈信号、限位器及定位器等装置，以适应自控、程控或调节流量的需要。气动隔膜阀的反馈信号采用无触点传感技术。该产品采用薄膜式推进气缸，替代活塞气缸，排除了活塞环易损坏，造成泄漏而导致无法推动阀门启闭的弊端。当气源发生故障时，尚可操作手轮使阀门启闭。